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羅茨真空泵是兩個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，通過齒輪比為1的一對齒輪帶的運動，進行相互反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。 在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子和泵殼內(nèi)壁之間有一定的間隙，可以高速運轉(zhuǎn)。泵室內(nèi)運動部件無摩擦，不需潤滑，泵室內(nèi)無油。轉(zhuǎn)子形狀對稱，動平衡性能良好，運行順暢，選擇高精度齒輪傳動，運行時噪音低，可獲得高轉(zhuǎn)速(提升速度)。羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)概略圖如下。

羅茨泵的抽氣特性，在一定的壓力范圍內(nèi)有很大的抽氣速度。抽氣過程中其工作空間的容積不變，即“無內(nèi)壓縮”，這與很多可變?nèi)萘渴秸婵毡貌煌Ｋ孕枰凹壉?。羅茨泵的真空度除了取決于泵自身的結(jié)構(gòu)和制造精度之外，還取決于前段泵的真空度。為了提高泵的真空度，可以串聯(lián)使用羅茨泵。當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部轉(zhuǎn)動排氣口的邊緣，封閉空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)的氣體壓力高，一部分高壓氣體被推到封閉空間，使空間內(nèi)的氣體壓力突然上升到排氣壓力，即所謂的“外壓縮過程”。 轉(zhuǎn)子持續(xù)旋轉(zhuǎn)時，氣體排出泵外。

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